1975년 켄 레비와 밥 앤더슨이 반도체 결함 검사 회사 KLA Instruments를 세웠고, 이듬해 카렐 우르바네크가 막 두께 측정 회사 Tencor Instruments를 세웠다(Wikipedia). KLA는 1978년 자동 포토마스크 검사 시스템 RAPID를 내놓고 1980년 나스닥에 상장했으며, 1997년 두 회사가 13억 달러 규모로 합쳐 KLA-Tencor가 됐다.
2000년 반도체 호황으로 연매출이 15억 달러를 넘겼다. 2006년 스톡옵션 백데이팅 관행이 드러나 SEC 조사와 집단 소송, 경영진 교체로 이어졌고 2008년 6,500만 달러를 내고 합의했다. 2009년 금융위기로 매출이 급락하자 인력 10%를 줄였다.
2015년 램리서치의 106억 달러 인수 시도는 규제 문제로 무산됐다. 2019년 이스라엘 Orbotech을 34억 달러에 인수하며 사명을 KLA Corporation으로 바꿨고, 2020년 대중국 장비 수출 규제로 전략 수정이 필요해졌다. 2025 회계연도 매출은 121억 6천만 달러로 최고치였다.