1965년 스위스 플라빌에서 VAT Vakuum-Apparate-Technik이 과학 연구용 진공 밸브 생산으로 출발해 뒤에 본사를 하그로 옮겼다(VAT Group). 1988년 독자 개발한 VATSEAL 게이트 밸브로 반도체 부문에 들어갔고, 2000년 경영진 주도 바이아웃으로 Unaxis에서 분리됐다.
2012년 말레이시아 생산 센터 투자를 시작했고, 2014년 Partners Group과 Capvis에 인수된 뒤 2016년 4월 14일 SIX 스위스 증권거래소에 주당 CHF 45로 상장해 시가총액 CHF 13.5억을 기록했다. 2022년 연간 순매출이 처음으로 10억 스위스프랑을 넘었다.
2024년 1월 우르스 간트너가 신임 CEO로 취임하고 ALD 공정용 가스 인렛 밸브를 내놨다. 2025년 말레이시아 1B 시설과 스위스 혁신 센터가 완공되고 2분기 매출이 24% 늘었으나 주가는 3.54% 내렸으며, 연매출은 CHF 10.73억, R&D 투자는 7,500만 프랑이었다. 2026년 4월 주주총회는 배당을 주당 CHF 7.00으로 12% 올리는 안을 승인했다.
✦매출과 시설이 함께 최고치를 찍은 해에도 주가는 내렸다. 밸브 회사의 평가는 지금 실적보다 다음 팹 투자 주기에 붙는다.