1948년 러셀 배리언과 시거드 배리언 등이 Varian Associates를 세웠다(Wikipedia). 1956년 스탠퍼드 대학교와 함께 서반구 최초의 의료용 선형 가속기를 설치했고, 1972년 정밀한 방사선량 제어가 가능한 Clinac 18을 내놨다(Grokipedia). 1999년 Varian Associates가 의료 기기, 반도체 장비, 과학 기기로 쪼개지면서 Varian Medical Systems가 독립 법인이 됐다. 같은 해 전 직원을 상대로 한 명예훼손 소송은 캘리포니아 대법원 판결까지 갔고 비공개 조건으로 마무리됐다.
2012년 실시간 종양 추적을 갖춘 Edge Radiosurgery Suite를, 2017년 Halcyon을, 2019년 AI 기반 적응형 치료 Ethos Therapy를 출시했다. 2017년에는 X선·이미징 부문을 Varex Imaging으로 분사해 종양학에 집중했고, 2018년 Sirtex Medical을 13억 달러에 인수하겠다고 발표했다.
2020년 Siemens Healthineers가 164억 달러 인수 계획을 밝혔고 이듬해 거래가 끝나면서 독립적으로 운영되는 자회사가 됐다(Siemens Healthineers). 2025년 지멘스는 Varian의 멕시코 생산시설을 미국 팔로알토로 옮기겠다고 발표했고, 2026년 TrueBeam이 FDA 승인을 받았다(Imaging Technology News).
✦대학 실험실에서 나온 가속기 기술이 70여 년 뒤 글로벌 의료 대기업의 한 부문으로 편입됐다.