2010년 라사 공업으로부터 실리콘 웨이퍼 재생 사업 설비를 인수해 RS Technologies가 설립됐고, 2011년 산본기 공장 가동과 ISO9001 인증으로 기반을 갖췄다(RS Technologies 연혁). 2014년 대만 자회사를 세웠고, 2015년 도쿄증권거래소 Mothers에 상장한 뒤 2016년 1부로 옮겼다.
2018년 중국 프라임 웨이퍼 제조사 GRINM Semiconductor Materials를 연결 자회사로 편입했고, 2019년 DG Technologies를 인수해 반도체 소모품으로 사업을 넓혔다. 2022년 자회사 GRITEK이 상하이 STAR 마켓에 상장했고, 2023년 바나듐 레독스 흐름 전지 전해액 사업을 인수해 LE System을 세웠다.
2024년 상반기 순매출이 전년 동기 대비 15.1% 늘어난 300억 6,800만 엔으로 사상 최고치를 기록했다. 2026년에는 GRINM 지분 일부를 35억 엔에 매각한다고 밝히는 한편(MarketScreener), 웨이퍼 재생 사업에 507억 엔 규모 투자를 발표했고 GRINM은 Anhui Jinglong Semiconductor 지분 60%를 인수했다(Moomoo).
✦중국 자회사를 키우면서 동시에 지분을 덜어냈고, 돈은 재생 웨이퍼라는 처음 자리로 다시 들어갔다.