1991년 Pfeiffer Vakuumtechnik의 야금 사업부를 경영자 매수해 PVA TePla AG가 설립됐다(Edison Group). 고압·진공·고온 환경의 재료 생산 시스템이 출발점이었고, 1999년 Leybold Systems에서 분사한 결정 성장 장비 제조사 CGS를 인수해 역량을 넓혔다(Edison Group). 2003년 독일 증권거래소 프라임 스탠다드에 상장했다(PVA TePla).
2012년 뮌헨 측정기술을 인수해 반도체 분석 시스템 분야로 들어섰고(Quality Magazine), 2020년 OKOS를 추가로 사들였다. 2021년 SDAX에 편입되며 Manfred Bender가 CEO로 취임했고(PVA TePla), 2024년에는 Jalin Ketter가 뒤를 이었다(PIM International).
2025년 DIVE imaging systems와 desconpro engineering을 인수해 고정밀 측정 포트폴리오를 보강했다(PVA TePla). 같은 해 매출은 전년 대비 줄었으나 연구개발과 영업 조직, 기업 구조 재편에 투자를 늘렸고, 2026년 1분기 수주액은 전년 대비 164% 늘어난 1억 2160만 유로로 사상 최고치를 기록했다(PVA TePla).
✦재료 장비 회사가 측정 기술 쪽 인수를 반복하는 동안 매출은 줄었고, 수주는 그 뒤에 따라 올라왔다.